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Wafer fittizio da 6''Wafer
da 8''Wafer di prova
12''Wafer di calibrazione Wafer
sonda
Wafer di monitoraggio
Wafer di controllo di processo standard
Wafer
di metrologia Wafer
di riferimento
Wafer interpositore Quali sono le specifiche dei wafer?
I wafer sono disponibili in varie specifiche e tipi. Ecco alcune specifiche comuni dei wafer:
1. Diametro: il diametro del wafer è una delle specifiche più comunemente utilizzate. I diametri comuni includono:
- 200 mm: noto anche come wafer da 8 pollici.
- 300 mm: noto anche come wafer da 12 pollici.
- 150 mm, 100 mm, 75 mm, 50 mm, ecc.
2. Spessore: lo spessore del wafer viene generalmente controllato e regolato durante il processo di produzione. Gli intervalli di spessore comuni includono:
- 650μm: comune nei processi precedenti.
- 550μm, 450μm, 380μm: man mano che la tecnologia avanza e i processi si riducono, lo spessore del wafer diminuisce.
- Wafer ultrasottili: in alcuni processi avanzati, lo spessore del wafer può essere molto inferiore a quello tradizionale, arrivando al di sotto dei 100μm.
3. Materiale del substrato: i wafer possono essere realizzati con vari materiali del substrato. I materiali comuni includono:
- Silicio (Si): il materiale di substrato del wafer più comune, ampiamente utilizzato nella produzione di semiconduttori.
- Carburo di silicio (SiC): utilizzato nella produzione di dispositivi elettronici ad alta potenza e dispositivi optoelettronici.
- Nitruro di gallio (GaN): utilizzato nella produzione di LED e dispositivi elettronici ad alta potenza.
- Zaffiro (Al2O3): utilizzato nella produzione di dispositivi optoelettronici.
4. Tipo di struttura: i wafer possono anche essere classificati in base alla loro struttura, tra cui:
- Silicon-on-Insulator (SOI): wafer con un certo spessore di strato isolante, comunemente utilizzati nella produzione di circuiti integrati ad alte prestazioni.
- Wafer impilati: strati di wafer impilati insieme per il confezionamento e l'integrazione 3D.
- Wafer compositi: wafer che integrano materiali diversi per soddisfare requisiti applicativi specifici.
Queste sono solo alcune specifiche e tipologie comuni di wafer. In realtà sono disponibili molte altre specifiche e tipologie per soddisfare le esigenze di diversi campi di applicazione.
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